硬度大是
碳化硅的优点，它的硬度只次于金刚石，所以常常用来作为砂轮等磨具的磨料,但是在应用时它因材料本身所表现的高脆性、低断裂韧性，使得其在很多领域的应用受到阻碍，因为这些性能会使碳化硅在磨削加工过程中易引起材料的脆性断裂，从而在材料表面留下表面破碎层，且产生较为严重的表面与亚表层损伤，影响了加工精度。
硬脆材料进行研磨时，对碳化硅具有滚轧作用或微切削作用，磨粒作用于有凹凸和裂纹的表面上时，随着研磨加工的进行，在研磨载荷的作用下,部分磨粒被压入工件，并用露出的端划刻工件的表面进行微切削加工。另一部分磨粒在工件和研磨盘之间进行滚动而产生滚轧作用，使工件的表面形成微裂纹，裂纹延伸使工件表面形成脆性碎裂的切屑,从而达到表面去除的目的。因为硬脆材料的抗拉强度比抗压强度要小，会在硬脆材料表面的拉伸应力下产生微裂纹，当纵横交错的裂纹延伸且相互交叉时，受裂纹包围的部分就会破碎并崩离出小碎块。此为硬脆材料研磨时的切屑生成和表面形成的基本过程。由于
碳化硅材料属于高硬脆性材料，需要采用特殊的研磨液，碳化硅研磨的主要技术难点在于高硬度材料减薄厚度的测量及控制，磨削后晶圆表面出现损伤、微裂纹和残余应力,碳化硅晶圆减薄后会产生比碳化硅晶圆更大的翘曲现象、薄晶圆传输中易碎片等问题。
